微小氣體流量計|廣州微型氣體流量計|小體積氣體流量傳感器|極小氣體流量傳感器 廣東微型氣體流量傳感器|廣州氣體流量傳感器|廣州微小氣體傳感器 HFS4001小流量氣體質(zhì)量流量傳感器是專門為各類小流量氣體的測量和過程控制而設(shè)計的。這一系列傳感器均采用本公司自主研發(fā)的微機電系統(tǒng)（MEMS）流量傳感芯片來制作，適用于各類清潔、干燥氣體。獨特的封裝技術(shù)使之在相同的管徑下可測量不同范圍的流量，成本低、易安裝、不需要溫度壓力補償，可替代容積式或壓差式的傳統(tǒng)流量傳感器并配以多種信號輸出，通過通訊接口可實現(xiàn)對傳感器的靈活配置與參數(shù)查詢。 產(chǎn)品特點： ? 傳感器靈敏度高，有極小的始動流量 ? 傳感器芯片采用熱質(zhì)量流量計量，無需溫度壓力補償，*保*了傳感器的高精度計量 ? 在單個芯片上實現(xiàn)了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高 ? 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數(shù)據(jù)(RS232)，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓 ? 零點穩(wěn)定度高 ? 全量程高穩(wěn)定性、高精度和優(yōu)良的重復性 ? 低功耗、低壓損 ? 響應速度快 型號：HFS4001 流量范圍：0～30,100,200,500,1000, sccm 量程比：>100：1過 精度：±（1.5±0.5FS）% 重復性：±0.25% 零點輸出飄逸：±30 mV 輸出飄逸：0.2 %/oc 響應時間：4，8，16，33，65，131 ms 工作電源：8~18Vdc,50mA 輸出方式：RS232,模擬電壓0.5~4.5Vdc 流量壓損：350 300 Pa 流量壓力：0.5 MPa 工作溫度：-5~+55 oC 存儲溫度：-20~+65 oC 工作濕度：