超純水是用于電子行業(yè)和半導(dǎo)體生產(chǎn)制程的高純度工業(yè)用水，是半導(dǎo)體制程工藝所必需的工藝用水，主要應(yīng)用在硅片晶圓的切片、粗磨、化學(xué)蝕平，拋光清洗等工序。對(duì)水中的殘留離子有非常嚴(yán)苛的指標(biāo)要求，是超純水細(xì)分領(lǐng)域的珠穆朗瑪峰。